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三轴纳米探针台应用于纳米材料操纵、纳米器件电学光学等物性测量、生物细胞DNA操作等;适配SEM:日本电子、日立、FEI、TESCAN等。
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PicoFemto系列扫描电子显微镜纳米探针台实现了三维空间上的准确定位,具有小尺寸大行程、高定位精度、操作简单、能在真空下使用等优点,使用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作及物性测量。PicoFemto 系列扫描电子显微镜 纳米探针台 基于压电陶瓷驱动技术,运动无需润滑,兼容扫描电镜真空环境,并可在多种温度范围内工作;步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。三轴探针台由XYZ三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多
PicoFemto系列扫描电子显微镜纳米力学台是动态观察和分析纳米材料力学行为的重要工具。PicoFemto 系列扫描电子显微镜 纳米力学台 集成了压电驱动四轴样品台及定量力学压头,样品及压头两侧同时控温,是开展材料纳米力学行为研究的重要工具。纳米力学台-技术指标力加载指标加热控温1. 载荷大小:0-100mN;1. 温度范围:室温至400℃(更高温度可选);2. 位移范围:100μm;2. 控温精度:±1℃;样品台移动指标3
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