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特长 Features
· 膜厚测量中必要的功能集中于头部
· 通过显微分光高精度测量绝对反射率(多层膜厚、光学常数)
· 1点只需不到1秒的高速tact
· 实现了显微下广测量波长范围的光学系(紫外~近红外)
· 通过区域传感器控制的安全构造
· 搭载可私人定制测量顺序的强大功能
· 即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数
· 各种私人定制对应(固定平台,有嵌入式测试头式样)
· 绝对反射率测量
· 膜厚解析
· 光学常数解析(n:折射率、k:消光系数)
构成图
半导体膜厚测试仪OPTM 式样Specifications
※ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。
* 膜厚范围是SiO2换算。
OPTM 半导体膜厚测试仪,optm
OPTM 半导体膜厚测试仪信息由北京先锋泰坦科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于OPTM 半导体膜厚测试仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
激光粒径仪 ELSZ-2000
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