您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
SIT-200 硅晶圆检测仪是Alnair Labs 公司采用高速扫频激光器,利用干涉计量的方法设计制造的用于硅晶圆厚度检测的干涉仪。与常规测厚采用宽带光源不同,可调谐激光器具备很高的功率谱密度,从而提高了测量的动态范围,因此,SIT-200 支持非抛光的晶圆测量,例如在湿刻过程中以及湿刻之后的晶圆。
• 全光学,非接触式晶圆厚度传感
• 高动态范围,可测量不规则表面
• 支持湿刻制程中实时测量
• 高灵敏度、高准确度、高速度
• 远程控制
测量原理
技术指标
可测样品
硅晶圆
可测厚度范围
10 - 500 (n=3.5)
m
精密可调谐激光
1515 - 1585
nm
光功率
0.6
mW
指引光
红色,Class 1M
测量时间
最短 20
ms
可重复性
<0.1 (3-σ)
监控输出
干涉信号输出
PC 界面
Ethernet
精密扫频激光光源以高速度调谐激光波长。样品前、后表面反射的激光的干涉信号经过PD 探测后,根据波长- 干涉信号强度的关系即可得到晶圆厚度。
硅晶圆检测仪SIT-200,SIT-200
硅晶圆检测仪SIT-200信息由北京先锋泰坦科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于硅晶圆检测仪SIT-200报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
TLG-210、TLG-310 可调谐激光器
群组论坛--表界面物性测试
您可能要找:Alnairlabs激光干涉仪硅晶圆检测仪SIT-200价格SIT-200激光干涉仪参数
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号