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主要应用。
晶片温度特性测试,用于安装探头的热卡盘 玻璃卡盘,基材电特性测试
数字温度控制器
通过一个一键式连接器连接到MSA工厂标准温度控制器。 通过简单的操作可以立即进行高度精确的温度控制。 pcc100_sg
支持定制的卡盘模式
标准卡盘模式:如果将工件放在中央卡盘孔中,可提供通用尺寸(例如6英寸、4英寸、3英寸和6英寸的卡盘)。 如果有其他卡盘模式(如卡盘位置的规格),可以定制。
卡盘表面 导电性/绝缘性/漏电性
卡盘表面有导电规格,如镀金(zui高200°C)和镀镍(zui高400°C),也有绝缘规格,如矾土处理(400°C)和氧化铝涂层。 卡盘面配备了一个GND端子,这样就可以连接到测量设备的GND上,等等。
特征
紧凑型晶圆卡盘加热载体,高精度温度控制
(±1.0%)
*如果需要更高精度类型的产品,请联系我们。
低成本、薄型晶圆加热载体
通过使用温度控制器(单独出售),可以进行广泛的温度设置。 (室温-200°C)。
可提供各种附加功能的定制。
定位销、晶圆尺寸切换杆等。
半导体晶圆的加热程序管控
各种 评价用界面、可以与您的设备相连接。
规格和定制
规格(标准)
定制设置
温度设置范围
室温―200℃
○
加热板功率
200-400W
工作台尺寸
φ 75~100mm
○(其他定制尺寸)
工作台材质
アルミ、SUS
选配
晶圆切换功能、工作台安装板等
*关于其他精元尺寸,PH200,300系列可以接受定制对应。
定制:○为可以为客户定制需要的规格。
日本MSA 晶圆加热载体 PH-101,PH-101
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日本msa 加热炉热台 PA-LIF系列
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