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仪器简介:
徕卡 DCM-3D双核三维轮廓仪融合了共焦成像和干涉测量技术二者的优点,将3套系统整合一体:
明场和暗场彩色数字式显微镜
高分辨率的共焦成像和测量系统
双重光学干涉轮廓仪
该产品以德国LEICA集团称雄世界的LEITZ干涉镜头为核心,是德国LEICA尖端光学科技的zei新成果,是微纳器件,半导体,光伏,光学加
工,材料研究方面的zei新高端仪器。
技术参数:
直接真彩:采用了白光光源,可直接获得样品表面真实的颜色。无须色彩与形貌的合成处理,避免了信息失真。 暗场观察:可实现光学显微镜的暗场观察 深度(高度)测量精度可达到0.1纳米:由于采用了相位干涉(PSI)和扫描干涉(VSI)技术,测量精度达到了纳米级。干涉测量的结果不受
样品表面反射率的大小和分布不均匀影响,比其他激光3D显微镜的反射对焦测量法更可靠。 测量高宽比:1:12
Leica 徕卡双核三维轮廓仪,LEICA DCM-3D
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