光谱椭偏仪 SpecEL-2000-VIS

关于微派克
成立于1995年的德国微派克(Mikropack GmbH)公司，是欧洲领先的仪器以及设备的生产商和供应商。产品主要是用于生物科技，光谱，通信和薄膜应用等方面的光纤和电子机械元件。光纤光谱产品线包括光源，光测量和校准系统。微排克同时还致力于生产用于薄膜测量的产品，如NanoCalc-2000(光谱反射测量仪)，SpecEl-2000(光谱椭偏仪)和PlacCala-2000与ProCess-2000(等离子监测，过程控制系统) 。微派克是英国豪迈国际有限公司的子公司。

SpecEL-2000-VIS from微派克 (Mikropack) 是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪，主要应用于薄膜测量。它具有经济实用、小巧、便利和拥有便捷的样品支架以及一键化操作等特点。SpecEL-2000-VIS适用于测量平整和半透明的样品，例如晶圆和玻璃片。

光谱椭偏仪测量光的相位和振幅的相对变化而不是传统的绝对光强(反射测量法)。因此这项技术不同于参考测量法，可以同时得到多重参数。高速测量保证系统可以在5－15秒内得到样品厚度，同时也可得到反射系数(n)和吸收率(k)与波长(450-900nm)之间的函数。

SpecEL-2000仅有标准椭偏仪价格的一半，却包括了一个集成的宽光谱光源，导光器件，起偏器，样品台，检偏器，增强光学元件和微型线阵列CCD光谱仪。整个系统的外形尺寸仅有52×33×24cm，入射光的角度固定在70度。

对于不同的层状和衬底样品，SpecEL可以测量的层厚在0.1nm到8um之间，精度达到1nm。随系统还有一套以32位的Windows平台操作软件，它具有强大的功能并能提供各种模型，例如Cauchy，OJL，Tauc-Lorentz，Drude，EMA和不同的振荡器。这套软件同时存储了特定的测试模式，减少了烦琐的反复测量和重复工作。

可以选择高分辨率的组件，将照射到样品上的光斑尺寸从2×4mm缩小到200×400um。还有其他可以选择的组件，例如2维绘图附件，参照晶圆和各种按需定制的解决方案。

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