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离子减薄仪(Precision Ion Polishing System ):为整套TEM样品制备的zei后一道工序,经氩离子减薄的样品可在TEM 下直接观察。GATAN型号691zei新一代精密离子减薄仪在标准配置中增加了低能量离子枪功能,zei低离子枪能量只有0.1KeV,尤其适合能量敏感性样品。此外,刚刚新推出的可选配置液氮冷台,可满足用户对温度敏感性样品减薄的需求。
离子源 离子枪 两个潘宁离子枪与微型稀土永磁体 减薄角度 +10° 到 -10°,每个离子枪均独立可调节 离子束能量 100eV 到6.0 KeV 光束直径 5keV 下350μm FWHM - 宽离子枪5keV 下800μm FWHM 离子电流密度 zei大 10mA/cm2 离子束调制 通过荧光屏精密调整离子束 离子束尺寸 通过气体控制调整 样品台 样品尺寸 3mm或2.3mm 底座 Gatan 专利DuoPost™(标准)或者石磨载台(可选配) 旋转速率 1rpm - 6rpm 离子束调制 针对特殊横截面可选择单面或双面减薄 观测器 双目显微镜 40X或80X CCD相机搭配17’’LCD显示器 300x-2200x(可选配) 真空 干燥泵系统 两个部分,隔膜机械泵搭配一个70 升/秒涡轮分子泵 压力 5E-6 Torr(6.6E-4Pa)基本压力 8E-5 Torr(10.7E-3Pa)工作压力 真空计 样品室冷阴极标尺,搭配固态压力传感器 样品调换 Gatan专利 WhisperlokTM,样品更换时间<1分钟 样品的Airlock <30 秒 尺寸及功率 总尺寸 560mmW x 480mmD x 430mmH (22W x 19D x 17H) 货运重量 45kg (100 lbs) 能量消耗 运行时需200W,离子枪关闭时需100W 电源要求 通用电压 100VAC-240VAC,50/60Hz(用户需确定电压和频率) 气体 氩气 25psi (1.42 bar,0.18 MPa)
PIPSTM是一台深受客户信赖的精密离子减薄仪,能够以zei小的耗费制作出高质量透射电镜用样品 重点强调容易使用的特点,PIPSTM还具有完全手工控制,可靠,操作简便,易于维修的特点。Gatan PIPSTM包括了几个独特的设计特点。 高减薄速率,低角度小于1度 潘宁枪零部件无消耗 whisperlok™专利快速、简单交换样品 双面样品载台(专利),低角度减薄 离子束调制提供单面和双面部分减薄 CCD图像“实时”影像监视录影(可选配) 化学辅助离子束刻蚀(CAIBE),大大提高了半导体材料的细化(可选配)
精密离子减薄仪,691
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