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美国NANOVEA微米压痕仪 简介:美国NANOVEA公司是一家全球公认的压痕测试仪的领航者,生产的压痕测试仪是目前国际上用在科学研究和工业领域zei先进的设备。 主要应用: 半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads);存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层);光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层);金属蒸镀层;防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具);药理学(药片、植入材料、生物组织);工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)等行业; 技术特点: 主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试,测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出,无需通过显微镜观察压痕面积。 •完全符合ISO14577、ASTME2546 •光学显微镜自动观察 •可硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力-应变、蠕变性能等力学数据。 •适时测量载荷大小 •采用独立的载荷加载系统与高分辨率的电容深度传感器 •快速的压电陶瓷驱动的载荷反馈系统 •双标准校正:熔融石英与蓝宝石 技术参数: ///zei大加载载荷:40N ///载荷分辨率:0.75mN ///可实现的zei小载荷:500mN ///位移分辨率:0.2nm ///可实现的自小位移:3nm ///可实现的zei大位移:300µm ///样品zei大尺寸:300mm
微米压痕仪,MTS
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