同样,Micro-XRF 分析可被视为电子束激发的补充技术,它也提供小区域样本信息。Micro-XRF 基于光子激发,样品会直接通过 X 射线 ((X-Ray-beam) 发生作用,与传统的基于电子束的系统相比,X 射线束具有明显的差异。现代 X 射线多面体光学的可用性使 X 射线能够聚焦到小于 30μm 的点大小,并且所有光片都包含在XTrace,可安装在可用SEM端口上的XRF源(图1)。这导致显微镜系统具有双光束的潜力,即电子束和X射线束。因此,可以使用与电子束系统类似的参数操作 Micro-XRF 系统,从而产生与传统点 SEM-EDS 分析相媲美的结果,同时从 X 射线光束样本相互作用中获取其他信息
X 射线激发对微量元素检测(某些元素的灵敏度低至10ppm)、扩展的 X 射线光谱范围(高达 40 keV)以及样本中更深入的信息具有更高的灵敏度。
配备 X 射线管,结合微聚焦 X 射线光学,可产生30μm的小点大小,具有高强度信号产额。
模块化的压电陶瓷piezo-based stage,专门设计安装在现有的SEM阶段之上,使高速元素X射线秒扫描mapping"“on the fly"大面积高达4毫米/秒的速度。这使X射线映射数据能够在50 x 50 mm(或更高)的样本大小上采集,将光元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量X射线数据整合到快速且用户友好的工作流中。
X射线激发的更大深度允许多层系统从1纳米开始,范围高达40μm,这是不可能被电子激发出来的。
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