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Pico 等离子设备能够以不同的形式进行整合,例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Pico 等离子系统一同使用的最常见的选装件。Pico 等离子系统主要应用于以下领域:
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
规格,参数:
系列
Pico系列
控制系统
半自动型
PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
体积
4~15L
真空腔室
圆形不锈钢件,配有盖子(大约Φ 150 mm, 长 320 mm 或者长 600 mm)或者
矩形不锈钢件,配有铰链的门(约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm)
配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门(大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm)
配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门(大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm)
配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP),或者配有铰链的门(大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm)
电极
单层或多层
RIE
样品支架
(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
气源
针型阀
质量流量控制器 (MFCs)
压力计
Pirani
Baratron(适用于腐蚀性气体版本)
计时器
数字型
高频电流发生器
40 kHz: 功率 0 - 200 W;0 -1000 W
13.56 MHz: 功率 0 - 50 W;0 - 100 W;0 - 300 W
2.45 GHz: 功率 0 - 300 W
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
真空泵
KASHIYAMA
电源
台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。
Diener PICO 等离子清洗机, PICO
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