设备尺寸 | 宽305mm ×深625 mm×高300 mm | 控制方式 | 自动 |
功率 | 0~600W | 工作气体 | 3路 |
样品腔材质 | 不锈钢 | 样品腔容积 | 50L |
射频频率 | 13.56MHz |
Diener等离子表面处理设备 德国原装进口
德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。
目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品,以保证性能技术稳定。
德国diener等离子表面处理设备特点:
德国diener等离子表面处理设备的应用范围:
清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。
清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。
移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。
清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。
清洗半导体元件、印刷线路板。
清洗生物芯片、微流控芯片。
清洗沉积凝胶的基片。
高分子材料表面修饰。
牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。
改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
煤、石棉灰化。
Diener Tetra30 Plasma
主要技术参数:![tetra 30PC.jpg](https://ibook.antpedia.com/attachments/att/image/20221110/1668043748116529.jpg)
1. *便捷的PC触摸屏控制,操作系统为Windows CE5.0(ARM)
2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
3. 双路工作气体,气体流量通过数字式流量计(MFC)控制
4. *反应舱为不锈钢,宽305mm ×深625 mm×高300 mm,容积约为50L
5. 高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W
6. 反射波自动调节,无须手工调节
7. 电极材质为铝/不锈钢
8. 运行模式为手动/自动
9. *可存储多套工艺程序,图表实时显示工艺过程
10.真空泵的排气能力为16m3/Hour,配有强制进气阀
11.*配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
12.电源电压:400V /16A
Diener Tetra30 等离子表面处理仪,Diener Tetra30
Diener Tetra30 等离子表面处理仪信息由上海尔迪仪器科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于Diener Tetra30 等离子表面处理仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。