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台式全自动三维形貌计量设备
ContourX-500光学轮廓仪快速,非接触式3D表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克自动倾斜光学测头,可以完成编程并自动测试一定角度范围内的表面特征,并能大程度地减少跟踪误差。
ContourX-500满足计量要求,Z轴分辨率和准确性,并在更小的占地面积内提供了布鲁克的白光干涉仪(WLI)落地式型号的优点。借助其新的USI通用扫描模式,本产品可以轻松地针对各种复杂应用场景定制分析方法。这些场景涵盖了从加工表面和半导体工艺制程,到眼科和MEMS器件的R&D表征。
先进的台式三维形貌计量设备
* 与放大倍率无关的Z轴分辨率
* 自动化功能,包含带编码器的XY轴样品台、自动测头倾斜和自动亮度调整
* 更紧凑的气动减震台设计
高性能的测量与分析功能
* 易于使用的界面,可快速准确地获得结果
* 广泛的自动化功能,可量身定制测量和分析程序
* 广泛的滤镜和分析工具
* 满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告
bruker布鲁克三维光学轮廓仪ContourX-500,ContourX-500
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