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减震真空探针台,
减震台采用6mm厚1Cr17优质高导磁不锈钢,均布25mm孔距M6螺纹孔,台面布M6螺孔阵距25mm×25mm,振幅≤5um,台面平整精度0.1mm/m2 ,表面粗糙度0.8μm-1μm, 固有频率垂直3~6Hz 水平3~6Hz ,负载重量1200kg。
探针台机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa,加热台温度 196-350℃,探针臂精度≤0.01mm
减震真空探针台
真空腔体
腔体材质
304不锈钢
上盖开启
铰链侧开
加热台材质
内腔体尺寸
φ160x90mm
观察窗尺寸
Φ70mm
加热台尺寸
φ60mm
观察窗热台间距
75mm
加热台温度
﹣196~350℃
加热台温控误差
±1℃
真空度
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允许正压
≤0.1MPa
真空抽气口
KF25真空法兰
气体进气口
3mm-6mm卡套接头
电信号接头
SMA转BNC X 4
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
探针数量
4探针
探针材质
钨针
探针尖
10μm
探针移动平台
X轴移动行程
30mm ±15mm
X轴控制精度
≤0.01mm
Y轴移动行程
13mm ±12.5mm
Y轴控制精度
Z轴移动行程
Z轴控制精度
电子显微镜
显微镜类别
物镜
物镜倍数
0.7-4.5倍
工作间距
90mm
相机
sony 高清
像素
1920※1080像素
图像接口
VGA
LED可调光源
有
显示屏
8寸
放大倍数
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm
减震真空探针台,KT-Z160T-RL
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