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高温真空蒸镀仪,是一款小型真空镀膜仪,特别适合蒸镀一些轻金属,如 Al. Mg, 和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理,Z大可处理的样品直径为50mm.。标准的旋转样品台可进行倾斜调节,非常容易适应各种样品座。可选的样品台具有特殊的凹槽,可放置标准的载玻片,这在“石棉分析”需要镀碳层时尤为有利。 碳棒头在仪器中作为标准件。这是一个“快速释放头”,使用户在选择金属蒸发附件、碳丝及光阑清洗头时可方便地更换。放气系统具有互锁装置,避免样品受到干扰。涡轮分子泵可安装在任何轴上,并且可安全地“关闭”直接通大气。 优点 ● 容易操作 ● 均匀的样品涂层 ● 方便多用户操作 ● 可用于蒸碳及蒸镀金属 ● 在排气过程中可防止样品损坏 ● 碳棒或碳丝蒸发
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜 115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟 115A 120秒 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
高温真空蒸镀仪KT-Z1650CVD
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
加热方式
数字式功率调整器
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
最大功率
≤1200W
最大输出电压电流
电压≤12V 电流≤120A
真空度
机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
样品台
可旋转φ62 (最大可安装φ50基底)
样品台转速
8转/分钟
样品蒸发源调节距离
70-140mm
蒸发温度调节
≤1800℃
支持蒸发坩埚类型
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳
预留真空接口
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展
机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa)
数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)
分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa)
高温真空蒸镀仪,KT-Z1650CVD
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