伯东代理KRI 考夫曼离子源 KDC 160(Atonarp)

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KRI 考夫曼离子源 KDC 160
上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列最大,离子能量最强的栅极离子源, 适用于已知的所有离子源应用, 离子源 KDC 160 高输出设计,最大电流超过 1000 mA. 无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计,标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 800 mA.

KRI 考夫曼离子源 KDC 160 技术参数

* 可选: 可调角度的支架

KRI 考夫曼离子源 KDC 160 应用领域
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE

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T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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