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质量流量计外置式气体配比器KT-C4ZS按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
配置1质量流量
2单向阀单向出气
3触摸屏控制,5段可编程序(时间-流量随意设置定值)
4采用316金属管道耐腐蚀性强
用途1半导体制造行业中气体流量控制
2各种真空镀膜设备
3特种材料表面处理
5混合配气系统
6环境监测与分析设备
产品型号
KT-PCS4Z
KT-C4ZS
气体通道
4进1出
可根据需求定制
产品类型
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制
可选量程
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)
产品精度
高精度型±1%F.S
普通型±1%F.S
重复精度
高精度型±0.2% F.S
普通型±0.2% F.S
线性
高精度型±0.5% F.S.
普通型±1% F.S.
响应时间
高精度型≤2sec
普通型≤4sec
工作温度范围
(5~45)°C
供电电源
~85-265VAC 50/60Hz
最大功耗
40W
进气口压
≤0.6MPa
连接管道
316不锈钢管道
截止阀类型
电磁阀
单向阀开启压力
0.02Mpa
压力显示量程
0-0.6Mpa
控制方式
7寸触摸屏智能调节
时间设定
0-32000分钟
清洗功能
一键清洗
程序控制
5段可编程序(时间-流量随意设定值)
压力显示
有(出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路)
气体混合罐
有(内置不锈钢扰流板气体混合均匀)
气体加热
无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温至350℃可调)
流量累计
有(累计当前运行总流量)
可选进出气口接头形式
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头
抗电磁干扰
有
外形尺寸
550x380x400mm
重量
18KG~20KG
质量流量计外置式气体配比器,KT-C4ZS
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