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精密气浮台高低温真空探针台
隔振平台由钢质蜂巢内核、顶板及底板组成,在降低重量的前提下提供了足够的硬度。光学隔振平台顶板为高导磁性不锈钢材料,底板为碳钢板,四周侧板内层为碳钢板外层为黑色铝塑板
适用于光通讯,电子制造,医疗器械,科研院校,显微镜,光路测试,光学测量,激光干涉,激光扫描,光谱实验等领域运用(对磁场较高要求,百级静音间均可满足使用要求)
真空腔体
腔体材质
304不锈钢
上盖开启
铰链侧开
加热台材质
内腔体尺寸
φ160x90mm
观察窗尺寸
Φ70mm
加热台尺寸
φ60mm
观察窗热台间距
75mm
加热台温度
﹣196~350℃
加热台温控误差
±1℃
真空度
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允许正压
≤0.1MPa
真空抽气口
KF25真空法兰
气体进气口
3mm-6mm卡套接头
电信号接头
SMA转BNC X 4
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
探针数量
4探针
探针材质
钨针
探针尖
10μm
探针移动平台
X轴移动行程
30mm ±15mm
X轴控制精度
≤0.01mm
Y轴移动行程
13mm ±12.5mm
Y轴控制精度
Z轴移动行程
Z轴控制精度
电子显微镜
显微镜类别
物镜
物镜倍数
0.7-4.5倍
工作间距
90mm
相机
sony 高清
像素
1920※1080像素
图像接口
VGA
LED可调光源
有
显示屏
8寸
放大倍数
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm
精密气浮台高低温真空探针台,KT-Z160T-RL
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