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2450吉时利源表配微型真空探针台
吉时利源表2450产品简述
2450型触摸屏数字源表是吉时利新⼀代数字源表(SMU)仪器,它真正把欧姆定律(电流、电压和电阻)测试带到你的指
尖。其创新的图表化⽤户界⾯(GUI)和先进的电容触摸屏技术,实现了直观使⽤和学习曲线简便化,⽀持⼯程师和科学
家掌握更迅速、⼯作更便捷、发明更简单。
吉时利源表2450是适⽤于各⾏各业使⽤者的源测量单元(SMU):这种多⽤途仪器特别适合现代半导体、纳⽶器件和材料、有机半导体、印刷电⼦技术以及其他⼩尺⼨、低功率器件特性分析。
真空腔体
类型
高温型室温到350℃
高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃
腔体材质
304不锈钢 6061铝合金 可选
腔体内尺寸
127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔体重量
不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG
腔体上视窗尺寸
Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)
腔体抽气口
KF16法兰(其余接口规格可转接)
腔体真空测量口
腔体进气口
6mm快拧 或 6mm快插
腔体冷却方式
腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压
≤0.05MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟)
样品台
样品台材质
不锈钢 银铜合金 纯银块
银铜合金 纯银块
样品台尺寸
26x26mm
样品台加热方式
电阻加热
电阻加热 液氮制冷
样品台-视窗 距离
11mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm)
样品台测温传感器
PT100型热电阻
样品台温度
室温到400℃
室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差
±0.5℃
样品台升温速率
高温100℃/min 最大值 低温7℃/min
温控仪
温度显示
7寸人机界面
温控类型
标准PID温控 +自整定
温度分辨率
0.1℃
温控精度
温度信号输入类型
PT100 (可选K S B型热电偶)
温控输出
直流线性电源加热
直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
温控器尺寸
32cmX170cmX380cm
温控器重量
约5.6KG
探针
电信号接头
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量
4探针(可扩展5探针)
探针材质
镀金钨针 (其他材质可选)
探针尖
10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程
20mm ±10mm(需手动推动滑台)
X轴控制精度
≥500μm
R轴移动行程
120° ±60°(需手动旋转探针杆)
R轴控制精度
Z轴移动行程
2mm ±1mm
Z轴控制精度
≤50μm(需手动螺纹调节探针杆)
2450吉时利源表配微型真空探针台,KT-Z4019MRL4T
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