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发布时间:2022年04月
极紫外平面反射镜
Ø最大可实现 13.5nm 反射
Ø专为极紫外线光束转向和谐波分离而设计
Ø5°和45°自动光学检验的可用版本
极紫外平面反射镜是多层反射镜,在其设计波长和入射角下实现最大反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基板上,表面粗糙度小于3Å RMS. 45°自动光学检验反射镜可用于转向s偏振光束,而 5° 自动光学检验反射镜可用于非偏振光束. 极紫外线反射镜的应用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科学研究。极紫外平面反射镜也可用作高次谐波 (HHG) 光束的谐波选择器.
注意:附带每个反射镜运行样本的测试数据.
通用规格
基底:
Single Crystal Silicon
涂层:
Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
表面粗糙度(埃):
<3 RMS
厚度容差 (mm):
0.508
直径 (mm):
25.40 ±0.25
镀膜类型:
Metal/Semiconductor
厚度 (mm):
6.35
表面平整度 (P-V):
λ/10 @ 632.8nm
订购信息:
涂层规格
AOI (°)
产品号
R >60% @ 13.5nm
5
#38-759
R >65% @ 13.5nm
45
#38-760
极紫外平面反射镜,#38-759
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