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发布时间:2022年04月
极紫外 (EUV) 球面反射镜
超抛光基片上的钼/硅多层镀膜
13.5nm 下可实现的最大反射
设计用于 EUV 光束聚焦应用
适用于 HHG 应用的窄通带
极紫外 (EUV) 球面反射镜具有多层钼/硅镀膜,在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它们专为 5o 入射角设计,并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3Å RMS,可最大程度地降低散射。这对 EUV 波长必不可少,因为 EUV 波长的散射比长波长更多. EUV 球面反射镜的通带非常窄,约为 0.5nm,确保只会在高谐波生成 (HHG) 应用中反射 13.5nm 的关注谐波。EUV 球面反射镜的典型应用包括相干衍射成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 纳米加工.
注意:每个反射镜均附运行样本的测试数据.
产品信息
极紫外 (EUV) 球面反射镜,#11-730
极紫外 (EUV) 球面反射镜信息由江阴韵翔光电技术有限公司为您提供,如您想了解更多关于极紫外 (EUV) 球面反射镜报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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