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规格参数:
1、旋涂基材6英寸或更小2、包括三个真空旋转卡盘3、用于手套箱的占地面积小4、易于使用的触摸屏界面5、可编程旋涂工艺6、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料7、耐化学腐蚀HDPE旋转碗8、耐用的不锈钢机身,具有耐化学腐蚀的透明旋转盖9、4.3”触摸屏界面10、基板尺寸:从1厘米到6英寸晶圆11、转速范围:100-12000 RPM12、转速分辨率:1RPM13、加速范围:空载100-30000 RPM / s14、程序:10个旋转程序,每个程序有10个步骤15、安全:真空联锁和旋转盖联锁16、尺寸:270(W)*387(D)*258(H)
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