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ST-II型系列隔振平台采用独立膜片气囊,具有良好的隔振性能。由于采用气囊结构,有效减少了泄漏的发生,一次充气可以使用6~12个月。广泛应用在光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域。
产品数据表
型号Model
台板尺寸(mm)
平台高度(mm)
最大载荷(kg)
孔径
孔距(mm)
支撑腿数量(只)
长度
宽度
台板厚度
ST-II-0906
900
600
50
800
200
M6
25
4
100
400
ST-II-1208
1200
ST-II-1510
1500
1000
ST-II-1812
1800
ST-II-2012
2000
ST-II-2015
ST-II-2412
2400
ST-II-2415
300
850
ST-II-3012
3000
6
ST-II-3015
ST-II-3515
3500
ST-II-4015
4000
8
ST-II-5015
5000
ST-II-6015
6000
主要性能指标:
平台尺寸2400*1500*800mm
1)平台台面材质:高导磁不锈钢SUS430;加工制造
2)台体总厚度: 200mm
3)平台离地高度: 800mm
4) 台面平整度: 0.05mm/平方米
5)台体底板: 大于9mm
6)台面粗糙度: 0.8微米;
7)孔 距: 25*25mm;
8)孔 径: M6,
9)振 幅: <1.2微米
10)台体内部结构:材质采用5mm厚优质碳钢压制成蜂窝钢结构,具有高抗强度
最大(变形量)动扰度系数:0.771*10-3-3
11)支撑方式 (每个平台配4点支撑-气浮式隔振支撑架一套,)
4点200*200mm方形钢管上端内采用内置二层膜片气囊,小孔阻尼,气压稳定平衡,
12)最大相对位移: 0.02μm;
13)固有频率:垂直1.5-2Hz、水平1.8-2Hz;
14)设计最大载负能力:2200kg
ST-II型气垫精密光学隔振平台, ST-II
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