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日本YAMATO等离子清洗机、等离子灰化机、等离子蚀刻机 PDC200/210型等离子清洗机 【简 介】 本产品是用等离子来进行表面处理的专业装置。 桌台式、具有高性能、力求操作简便、快捷、可显示数据。广泛应用于以电子材料为中心的各个行业中。 【用 途】 ● 用于CSP/BGA/COB基板的等离子处理 ● 消除有机膜、金属酸化膜 ● 用于印刷电路板的干式清洗 ● 界面活性处理 【特 征】 ● RIE/DP模式 ● 采用的电极构造可使等离子分布均匀 ● 便于操作的触摸屏【规 格】型号:PDC 200 / 210 等离子的发生模式:附带RIE/DP切换器 电极构造:平行平板(电极固定) 高频输出:极值 300W / 500W 振荡频率:13.56MHz 石英晶体发振 控制/显示:液晶触摸屏 内槽尺寸:宽400×深250×高150mm 载物台尺寸(有效):宽250×深170mm 内槽材料:铝材 反应气体:2系统(氩气、氧气) 清洗气体:氮气或干性气体 反应气体的流量控制:流量计/流量控制器 真空泵:旋转式真空泵(约345L/分) 气体输入口:反应气体用2个、清洗用1个 外形尺寸:宽540×深600×高600mm 电源:AC单相100V(50/60Hz)15A / AC三相200V(50/60Hz)15A 德国等离子清洗机 此离子清洗机可用于清洁、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洁效率和清洁效果需要。 小型等离子清洗刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于大学、科研机构高科技生产单位等场合: · 半导体开发 · 集成电路开发 · 真空电子行业 · TEM、SEM样品及支架清洁 · 生命科学实验 与动辄十几万美元的大型产品相比GALA等离子清洁、刻蚀机具有以下优点 1、可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。 2、不会对科研人员的身体造成任何伤害。 3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。 此等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。 其具体应用包括: 1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化 玻璃、陶瓷和塑料(如聚丙烯、PTFE等)基本上是没有极性的,因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。 2、金属去油及清洁 金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 焊接操作前:通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除,否则会带来腐蚀等问题。 键合操作前:好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱,这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的,也需要进行等离子清洁。 3、等离子刻蚀 特 点: · 操作简便、成本低廉 · 处理舱 9.5cm x 27 cm和 15cm x 31.5 cm,可以分层方置样品 · 不锈钢处理舱(其他厂家多采用铝制) · 高效真空电极 · 气体流量通过流量计和针阀实现精确控制 · 手动过程控制 · 功率可在200W以内调节控制(完全能够满足清洁需要,200W以上功率用于刻蚀) · 自动阻抗匹配 · 自由设置参数:处理时间、功率、气体、压力 · 安全保护功能:真空触发、舱门锁 FEMTO型等离子清洗机 * 反应舱10cm x 27 cm, 水平 (2 升) * 不锈钢反应舱体 * 40KHz射频发生器 * 高效针孔电极 * 铜气体管、气体流量计、 针阀 * 使用气体流量计和针阀控制气体 * 自动计时器控制等离子处理过程 * 半自动控制 * 功率0-100W * 自动阻抗匹配 * 自由设置参数:处理时间、功率、气体、压力 * 安全保护功能:真空触发、舱门锁 * 电磁阀保护,回流油雾不能进入反应舱 * 规格:35 cm(W)×25 cm(H)× 60 cm(D) 重量 20 kg (不含真空泵) * 电源 230V/50Hz; 110V/60Hz 选装件 DUO 5 2级真空泵 5m3/h, 3x10-2 mbar (普通油) 稳流调节阀 采用氧气和普通真空油时 油雾过滤器 EMF10 化学回旋器 缓和泵送气体 化学回旋器用活性炭 PICO型等离子清洗机 * 反应舱 15cm x 32 cm, 水平 (5 升) * 不锈钢反应舱体 * 40KHz射频发生器 * 高效针孔电极 * 数字计时器可自动设定操作程序 * 皮拉尼真空泵可设定重复操作 * 铜气体管、气体流量计、针阀 * 使用气体流量计和针阀控制气体 * 自动计时器控制等离子处理过程 * 半自动控制 * 功率可调至200W * 自动阻抗匹配 * 自由设置参数:处理时间、功率、气体、压力 * 安全保护功能:真空触发、舱门锁 * 电磁阀保护,回流油雾不能进入反应舱 * 规格:60 cm(W)×30 cm(H)× 60 cm(D) 重量 35 kg (不含真空泵) * 电源 230V/50Hz; 110V/60Hz 选装件 DUO 5 2级真空泵 5m3/h, 3x10-2 mbar 双气体配置:管路、流量计、针阀 13.56 MHz 射频发生器 2.45 GHz 射频发生器 油雾过滤器 EMF10 化学回旋器 缓和泵送气体 化学回旋器用活性炭
等离子清洗机/超声波清洗机/玻璃器皿清洗机, PDC200/210
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