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产品概述
特点:
平移滑台采用粗调+微调结构,灵敏度优于0.5μm
旋转滑台灵敏度优于23.4″
稳定性高,具有较高性价比
命名规则
选型表
型号
UFP1A
UFP1B
UFP1C-L
UFP1C-R
UFP2T-L
UFP2T-R
台面尺寸(mm)
60×60
45×45
台面厚度(mm)
20
25
30
-
移动量
粗调:±6.5mm;精调:±0.3mm
θx:±3°;θy:±3°
导向机构
线性滑块导轨
交叉滚柱导轨
交叉滚柱轴环
驱动
分厘卡
主体材料及表面处理
铝合金,黑色阳极氧化处理
自重(Kg)
0.28
0.32
0.4
0.64
灵敏度
粗调:≤10µm;精调≤0.5µm
θx:≤25.2″;θy:≤23.4″
静态平行度
≤60µm
运动平行度
≤10µm
运动直线度
≤3µm
水平负载(Kg)
5
1.5
UFP系列高灵敏度手动滑台,UFP系列
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