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ATGX310系列光学薄膜厚度测量仪
产品概述
光学薄膜厚度测量系统,是利用薄膜反射光干涉的原理,对薄膜进行厚度测量及分析。它非常适合测量半导体、LCD、TFT、PDP、LED、触摸屏、汽车车灯、医学、太阳能、聚合物薄膜、眼镜等光学元件的膜厚测量。
工作原理
光学薄膜厚度测量系统,是利用薄膜反射光干涉的原理,对薄膜进行厚度测量及分析。它利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面,只要薄膜有一定程度的透射,ATGX310就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度,最大测量范围可以达到10nm~250um,可以同时完成多达3层膜厚的测试。核心部件使用ATP3010P高分辨率、高灵敏度光谱仪,多达4096像素元的CCD阵列,为测量结果的准确性提供了可靠的保证。
产品特点
没有更多耗时的基准校正 , 不再浪费更多的时间预热光源, 您仅需将ATGX310连接到计算机的USB端口,4000小时的光源,及内建光谱校准意味着几乎没有维护成本, 更意谓着量测精确.独特的暗箱室结构,可以让您在任何光亮环境中准确测量。
规格及参数
光学系统
标准氘卤组合灯光源
准直照明,积分球接收
接收器:微型光纤光谱仪
波长范围:200-1100
测量范围:0-100%
技术参数
波长准确度 ±0.5nm
波长重复性 ≤0.2nm
光谱带宽 1nm
杂散光 ≤0.05%
透射比准确度 ±0.5%
透射比重复性≤0.5%
应用范围
眼镜、太阳镜、防嗮保护膜
各种光学元件、滤光片等
平面玻璃、塑料制品
手机显示屏、液晶屏
其他透明或半透明材料
实验搭建
基于微型光纤光谱仪(ATP3010P)、R3测量支架(R3)、氘卤灯光源(ATG1020)、光纤准直镜(FIBH-2-UV)以及紫外光纤(FIB-600-UV)搭建的光学镀膜厚度测量系统。
ATGX310规格参数表
型号
ATGX310-VIS
ATGX310-XR
ATGX310-DUV
ATGX310-NIR
测量波长范围
400-850nm
250-1060nm
190-1100nm
900-1700nm
厚度范围
50nm-20um
10nm-100um
1nm-100um
100nm-250um
厚度分辨率
0.1nm
重复性
0.3nm
1.0nm
入射角
90度
膜厚层数
至多10层
样品材料
透明或半透明薄膜
测量模式
反射和透射
粗糙膜厚测量
可以
测量速度
最短1ms
是否能在线
能
光斑尺寸
标准:200um或400um
定制:100um
显微镜搭配
CCD成像
扫描选择
150mmX300mm
xy扫描平台
真空兼容
是
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ATGX310系列_光学薄膜厚度测量仪信息由奥谱天成(厦门)光电有限公司为您提供,如您想了解更多关于ATGX310系列_光学薄膜厚度测量仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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