ATGX310系列_光学薄膜厚度测量仪

ATGX310系列光学薄膜厚度测量仪

产品概述

光学薄膜厚度测量系统，是利用薄膜反射光干涉的原理，对薄膜进行厚度测量及分析。它非常适合测量半导体、LCD、TFT、PDP、LED、触摸屏、汽车车灯、医学、太阳能、聚合物薄膜、眼镜等光学元件的膜厚测量。

工作原理

光学薄膜厚度测量系统，是利用薄膜反射光干涉的原理，对薄膜进行厚度测量及分析。它利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，ATGX310就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度，最大测量范围可以达到10nm~250um，可以同时完成多达3层膜厚的测试。核心部件使用ATP3010P高分辨率、高灵敏度光谱仪，多达4096像素元的CCD阵列，为测量结果的准确性提供了可靠的保证。

产品特点

没有更多耗时的基准校正 , 不再浪费更多的时间预热光源, 您仅需将ATGX310连接到计算机的USB端口，4000小时的光源，及内建光谱校准意味着几乎没有维护成本, 更意谓着量测精确.独特的暗箱室结构，可以让您在任何光亮环境中准确测量。

规格及参数

光学系统

标准氘卤组合灯光源

准直照明，积分球接收

接收器：微型光纤光谱仪

波长范围：200-1100

测量范围：0-100%

技术参数

波长准确度 ±0.5nm

波长重复性 ≤0.2nm

光谱带宽 1nm

杂散光 ≤0.05%

透射比准确度 ±0.5%

透射比重复性≤0.5%

应用范围  

眼镜、太阳镜、防嗮保护膜

各种光学元件、滤光片等

平面玻璃、塑料制品

手机显示屏、液晶屏

其他透明或半透明材料

实验搭建

基于微型光纤光谱仪（ATP3010P）、R3测量支架（R3）、氘卤灯光源（ATG1020）、光纤准直镜（FIBH-2-UV）以及紫外光纤（FIB-600-UV）搭建的光学镀膜厚度测量系统。

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