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Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统(Attolight)

北京正通远恒科技有限公司 400-6699-117 转 1000

Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆,或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上,然后仪器自动处理。 Säntis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜,可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。

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