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该仪器是检测模具、封装或PC板水平上所\有类型静态缺陷(短路、泄漏、高电阻开启和断路开启)的很好的工具。该仪器结合了两个传感器的功能，实现了很好的灵敏度和亚微米的分辨率的统一。这允许单个系统可以处理任\何类型的设备和任\何类型的静态缺陷。
仪器特点：
该仪器拥有2个传感器。SQUID传感器可以检测最\小可能的电流，磁阻传感器可以获得绝\对\最\佳的空间分辨率时，扫描接近的电流。此外，EFI工具可以以惊\人的精\度检测断路开启故障。
仪器参数：
特点
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SQUID 传感器
短路缺陷定位(SQUID)
3um
空间分辨率 (SQUID)
2um
总扫描面积 (SQUID)
至\少 100mm by 100mm
当前灵敏度 (SQUID)
· 500nA @ 333um
· 1.5uA @ 1000um
磁敏感性 (SQUID)
15 pT/√Hz Typical
成像深度 (SQUID)
10mm
工作频率 (SQUID)
DC to 25kHz
HiRes 传感器
短路缺陷定位 (HiRes)
250nm
空间分辨率 (HiRes)
500nm
总扫描面积 (HiRes)
At least 100mm by 100mm
当前灵敏度 (HiRes)
· 5uA @ 2um
· 100uA @ 100um
磁敏感性 (HiRes)
10nT/√Hz Typical
工作频率 (HiRes)
10kHz to 200kHz
成像深度 (HiRes)
<100um
Opens断路
断路缺陷定位 (SDR)
30um
成像深度 (Opens)
<500um
工作频率 (Opens)
20MHz to 200MHz
其他参数
功能发电机
±10V @ 100mA
功能发电机频率
DC to 200kHz
镜头分辨率
2um (in NIR or Visible)
电源
· 110 - 120V @ 20A
· 220 - 240V@ 10A
操作系统
Windows 10 64-bit
应用：
1.解决了所\有的静态缺陷:短路、泄漏和断路。
2.三维缺陷定位计算样本表面到当前路径的距离，当直流电迹可用时，新的软件能够在所\有三维重建当前路径。
3.由于磁场渗透所\有材料，SQUID 传感器可以很自然的发现封装短路故障。
4.使用大于500nm空间分辨率的HiRes传感器定位模具短路。磁场分辨率不受波长的限制，只受传感器尺寸和扫描距离的限制。
5.在500nA电流灵敏度下，可以发现ω电阻的泄漏。
6.使用SDR技术，在检测电流产生的射频磁场时，应用高频信号(20MHz至200MHz)，可以发现故障。
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