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能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)
应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。
半导体/FPD检查显微镜MX61L
观察影像实例
晶圆(明视场观察) 晶圆(暗视场观察)
晶圆(微分干涉观察) 彩色滤色片(透射观察)
半导体/FPD检查显微镜 MX61L 规格
光学系统
UIS2光学系统(无限远校正)
机身
观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射
照明装置
机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明
纤维光导
对焦单元
电动/手动
手动
行程
32 mm
分辨率/微调灵敏度
微调旋钮转动1周移动0.1 mm
*大样本高度
30 mm
物镜转换器
电动型
明视场微分干涉6孔 明暗视场微分干涉5孔 明暗视场微分干涉6孔 明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式
-
载物台
14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm(透射照明范围356×284 mm)
观察筒
广角视场(视场数22)
倒置
双目/三目观察筒
正像
三目观察筒
超宽视场(视场数26.5)
倾斜三目观察筒
附件单元
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸
710(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)
重量
51 kg(标准组合)
半导体检查显微镜,MX61L
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