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压电物镜定位器OPP120SM采用了 CEDRAT标准放大压电致动器和一个用于保持物镜垂直方向精确运动的导座组成。APA实现了行程和硬度之间的平衡,因此非常适用于快速共焦显微镜。与物镜之间的接口可以根据要求定制,并可配备涡流传感器。
参数
单位
OPP120SM
型号
V- OPPSM120
备注
-
传感器
SG,ECS
主动轴
TZ
最大空载位移[Tz]
um
140
最大转动[Rx, Ry]
urad
25
电压范围
V
-20…150
分辨率
nm
14
硬度
N/um
0.71
高度(Z 轴)
mm
50.0
尺寸
65*40
质量
g
180
空载共振频率(在致动方向)负载=50g
Hz
600
负载响应时间
ms
1.14
电容 (每个电气接口)
uF
3.15
机械接口(有效负载)
物镜接口 M25 *0.75(指定)
机械接口(框架)
显微镜接口(最大 M25 *0.75)
电气接口
1RG 178B/U 同轴电缆
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