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半导体产业蚀刻清洗专用的聚氯乙烯制通风柜特点•可以在通风柜下台装入恒温水循环装置进行使用。•内、外装都是使用硬质聚氯乙烯,最适合使用酸、碱等的蚀刻清洗。•通过采用阻流板可以很好的排出比重较大的气体。共通规格
内外装
硬质聚氯乙烯材料 5mm厚
操作台面(选定)
门
透明聚氯乙烯材料 5mm厚
水栓
120型:2个(自来水、纯水用各1个)
150/180型:4个(自来水、纯水用各2个)
插座
AC220V 10A,2个
荧光灯
120/150型30W、180型40W各一个
规格
型号
FHV-120
FHV-150
FHV-180
外形尺寸
深×高
750×1850mm
宽
1200mm
1500mm
1800mm
重量
约200kg
约230kg
约250kg
排气风量
10m3/min
13m3/min
15m3/min
机内静压(推荐值)
50Pa(5mmH2O)
59Pa(6mmH2O)
40Pa(4mmH2O)
机型一览表
无排风机
有排风机
FHV-120B
FHV-150B
FHV-180B
陶瓷钢板(K)
FHV-120K
FHV-150K
FHV-180K
YAMATO雅马拓通风柜 FHV,FHV
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