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电动四轴移动:XYZ和斜线方向运动;2.LCD显示XYZ的位置及移动速度;3.行程:XY乙和斜线移动最大距
25mm:4.最大移动速度:2.0mm/sec;5.分辨率有6个档次(μm步):0.0625、0.125、0.25、05、1.0.2.0;6.
使电极快速回复原来位置的HOME功能;7.漂移:最大1-2umhr
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