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产品名称:Harrick PDC-32G-2
型号规格:PDC—32G-2整机规格:8.5×10×8(长×宽×高)英寸 (216×254×203)mm反应舱规格:Φ3×L6.5英寸耐热玻璃 (Φ76×L165)mm反应舱有效容积:0.75L输入电源:220 V/50Hz整机输入功率:100 W射频输出档:低档680V DC、10mA DC、6.8W/中档700V DC、15mA DC、10.5W/高档720V DC、25mA DC、18W常用工作气体:空气、氩气、氮气或混合气体等特征:紧凑的台式设备,应用一个最大功率为18瓦的RF线圈,没有RF幅射,符合CE安全标准。舱盖可拆卸。选配件:石英等离子清洗舱
提供各自计量两种不同气体进气和监测压力的气体计量混合器Plasma FloTM需要:兼容的真空泵,最小速率为1.4 m3/hr,最大极限为200 MTorr包括:1/8英寸NPT针阀束引入气体和控制压力
Harrick等离子清洗机PDC-32G-2, PDC-32G-2
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