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☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上,结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品,采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆ RS232/485串口, Modbus(RTU)开放协议。协议简单可靠,兼容性强,易于组网。配合上位机,可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小,工作压力范围宽。
☆阀体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。线路板、阀体、弹簧片、精密电阻和resistor等为重要零部件,均执行严格 的入厂标准。
☆可任意角度安装。
☆兼容数字和模拟控制及显示,使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。 配合MT-52或51系列流量显示仪,可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。
型式批准证书:2013F53-11 执行Q/CYHM******业标准 许可证编号:京制01050063号
气体质量流量控制器S48 300/HMT, S48300/HMT
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