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GT130D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器。
产品特点
l 自带显示,可独立运行
l 质量流量控制器执行JJG 1132-2017国家标准
l 进口电磁比例阀,使用寿命更长
l 采用RS-485通信接口,可远程组网使用
l 紧凑型外观设计,节约更多空间
l 内置高精度MEMS传感器,测量控制更精准
l 所有产品均采用特定高纯气体标定,确保产品的精度
l 可通过专用标定软件对MFC进行标定校准
l 任意角度安装均不影响气体流量
l 专业团队,提供优质服务
快速的响应
专业的标定设备及标定测试软件
采用进口标定设备,所有出厂产品均严格执行检定规程
尺寸结构
接口定义
线号定义
参数
点号
RS-485+
485 A/+
1
RS-485-
485 B/-
2
电源地
GND
3
电源正极
+24V
4
参数信息
最大流量
50sccm - 5slpm(可定制)
气体类型
H2/He/N2/Air/Ar(可定制)
精度
±1%F.S.
响应时间
≤1s
气路材质
钝化316L不锈钢/铝合金表面氧化/铝合金惰性涂层
工作温度
0~50℃
工作湿度
0~95%R.H.(非冷凝)
电源
DC24V±10% / DC12V±10%
信号接口
RS-485(Modbus)
吉思特GT130D数字式质量流量控制器,GT130D
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