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EDWARDS的nXDS干式涡旋泵具备出色的抽气能力、极限真空性能和先进的设计特性,性能居同类产品之首。nXDS泵在其他涡旋泵的基础上进行优化,提高了抽速,获得了更高极限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可冷凝蒸气(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS泵还采用了优化的端面密封技术,显著延长了端面密封条更换的时间间隔。
特色与优势:
温控风扇
可以在低负载条件下降低风扇转速,从而使噪声降至仅52 dB(A)。
轴承罩
可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离,以确保清洁的真空环境,
并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中,从而延长轴承的使用寿命。
变频器驱动
全球范围内泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自动电压调整特性,从而有助于打造卓越的用户体验。
优化涡盘设计转速提高, 极限真空比上一代提高一个数量级,极限压力低至7 x 10-3 mbar。
优化端面密封技术
使用寿命发生显著变化,就大多数应用而言,典型的端面密封条使用寿命达到2年以上。
高流量气镇特性
高达220 gh-1的速度抽取蒸气(包括水蒸气)。
用途
一般清洁泵送应用
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油,环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
SEM/FIB(离子束维修)
溶剂回收
表面科学仪器
EDWARDS干式涡旋泵nXDS, nXDS6i nXDS10i nXDS15i nXDS20i
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