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OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-单温区管式炉,二路质子混气系统和高真空机组组成。其最高工作温度可达1200℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。
● 采用双层壳体结构,并带有风冷.使得壳体表面的温度小于60度
● 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
● 材质: 高纯石英管
● 石英管包含在内
● 可以选择其他管径
● 最高工作温度.: 1200°C
● 连续工作温度: 1100°C
● 总加热区长度: 440mm
● 恒温区长度. : 150mm (±1°C)注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系
● PID自动控制方式,可设置30段升降温程序
● 控温仪表操作视频
● 控温精度: ±1°C
● 热电偶: K 型已经安装在炉内
● 一对不锈钢真空密封法兰,已经安装
● 法兰上已经安装机械压力表
● 一对精密针阀
● KF-40 的抽气接口
● 壳体尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
● 最大承载量:600 Lbs on topf
● 分子泵显示屏: LCD 数字显示
● 内装有一Pfeiffer vacuum pump made in Germany:
● N2 33 L/s
● He 39 L/s (2340L/minute)
● H2 32 L/s
● 采用 316不锈钢制作
● 混气箱尺寸: Φ80X120mm
● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
● 石英管的长时间使用温度<1100℃
● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
科晶+真空CVD系统+ OTF-1200X-HVC, OTF-1200X-HVC
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