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远程控制等离子清洗机
型号:EM-KLEEN
用于电子显微镜等分析仪器如SEM、FIB、TEM样品室的清洁、XPS和SIMS、ASE 系统
源于劳伦斯伯克利国家重点实验室的SmartCleanTM
技术,设计精巧,智能,功能强大
EM-KLEEN 构成:
Pirani压力传感器 :实时监测样品室压力,可以作为安全模式的安全联锁触发器,并未功能计数器加载事件
自动气体流量控制器 :很容易真空抽到10-7 Torr,自动调节气体流量
等离子强度传感器 :用户可实时监测等离子强度状态
温度传感器 : 提供联锁保护,防止长时间工作电源工作温度过高
冷却风扇 :大功率风冷冷却,而不会导致电源过热
液晶触摸屏控制器 :嵌入式微处理器,串联工作,自动控制系统,并为客户提供保护
EM-KLEEN远程等离子清洗机, EM-KLEEN
EM-KLEEN远程等离子清洗机信息由德国韦氏纳米系统German First-Nano System为您提供,如您想了解更多关于EM-KLEEN远程等离子清洗机报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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