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技术参数:在大气环境下:扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下:原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部:AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式:样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸:样品扫描:直径40mm,厚度15mm。针尖扫描:样品无限制 XY样品定位装置:移动范围5×5um,精度5um 扫描范围:90×90×9um(带传感器/闭环控制),可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度:≤0.5%(带传感器/闭环控制) Z方向噪音水平(带宽1000Hz时的RMS值):闭环控制扫描器(典型值0.04nm,最大0.06nm)光学显微系统:配备高数值孔径物镜后,分辨率可由3um提升至1um样品温度控制:室温~300℃
NT-MDT 开尔文探针显微镜, Ntegra Prima KFM
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