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概述
EXT75DX分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,采用成熟的轴承技术,上轴承为永久性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并采用Holweck拖曳分级技术,可以DC 24V直接驱动,或使用TAG和 TIC控制器,可以并行和串行通信。入口法兰有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可选。
基本的分子泵系统通常由EXT75DX泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能特点
智能控制,功耗低,减少运行成本
与Edwards TIC涡轮与仪表控制器兼容,可以添加1~3真空规而无需额外真空控制器,可以连接冷却风扇和自动放气阀
并行或串行接口:并行模式允许使用传统控制模式;串行模式提供RS232接口,可以全面控制分子泵状态,并连续监控放气阀设置、运行转速、待机转速、可编程功率设置、功耗、泵/控制器温度
入口配有筛网
上轴承为永久性磁悬浮轴承:无需清洁、振动小、磨损低
配有手动放气阀(可选配电磁阀,用于全自动放气)
Holweck拖曳分级技术,实现高吞吐量和高前级压力差
带有吹扫口,提供制程气体稀释,以保护电机和下轴承
技术指标
入口法兰
DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K
出口法兰
KF16
抽
速
ISO63/63CF
DN40NW
ISO100
N2
61l/s
42l/s
66l/s
He
57l/s
49l/s
59l/s
H2
53l/s
48l/s
54l/s
压
缩
比
>1×1011
1×106
5×104
极限
真空
RV泵,ISO/CF
<5×10-9/<5×10-10 mbar
隔膜泵,ISO/CF
<5×10-8/<5×10-9 mbar
推荐前级泵*
RV5/nXDS6i
放气口/吹扫口
1/8英寸BSP母螺纹
最大连续入口压力(轻质气体)?
水冷(水温15°C,环境温度40°C)
2×10-2 mbar
空冷(环境温度35°C)
1×10-2 mbar
泵转速
标称转速
90000rpm
待机转速
49500~90000rpm可调
(缺省63000 rpm)
功率范围
50~120W可调
(缺省80W)
90%转速启动时间
110s?
模拟输出
泵转速、功耗、泵温度、控制温度
冷却方式#
空冷/水冷
空冷环境温度
5~35°C
最小水冷流速
(15°C的水)
15l/ h
水温范围
10~20°C
入口法兰最高温度
100°C
工作姿态
垂直、水平
噪声(1m处)
<50dB(A)
最大耐受磁场
5mT
推荐控制器
TIC100涡轮仪表控制器
稳态功耗
10W
* 根据应用可使用较小的前级泵,如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar,如XDD1。
? 如大于该入口压力,转速会降至标称转速以下。
? 功率为80 W。
# 空冷和水冷却附件须单独订购。
订货信息
货号
描述
B72241000
EXT75DX分子泵:DN63ISO-K入口法兰
B72242000
EXT75DX分子泵:DN63CF入口法兰
B72243000
EXT75DX分子泵:DN40NW入口法兰
B72245000
EXT75DX分子泵:DN100 ISOK入口法兰
B72246000
EXT75DX分子泵:DN100 ISOK入口法兰(DN25NW前级泵接口)
B72235000
EXT75iDX分子泵:DN40NW入口法兰
B72237000
EXT75iDX分子泵:DN63ISO-K入口法兰
B72238000
EXT75iDX分子泵:DN63ISO-K入口法兰(DN25NW前级泵接口)
Edwards EXT75DX涡轮分子泵, EXT75DX
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