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概述
nEXT400D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO160和CF160两种入口法兰接口,对N2的抽速为400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为永久性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,最终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机,内置驱动,与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W和160W两种最大预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽氩气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。
基本的分子泵系统通常由nEXT400D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能特点
最新的转子设计,可以实现卓越的抽速和压缩比
维护简便,用户可以在短时间内完成维护,无需复杂的工具或拆卸
设计紧凑,性能卓越,可以实现高效系统化
与Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容,可加3个真空规,而无需额外控制器
符合RoHS,并通过CSA/UL认可
技术指标
入口法兰
DN160ISO-K,DN160CF
出口法兰
KF25
抽
速
N2
400l/s
He
390l/s
H2
325l/s
压
缩
比
>1×1011
1×108
5×105
极限真空(ISO/CF,RV前级泵)
<6×10-8/<5×10-10 mbar
推荐前级泵*
RV12/nXDS10i
放气口/吹扫口
1/8英寸BSP母螺纹
最大连续入口流量(氮气)?
水冷(水温15°C,环境温度40°C)
105sccm
空冷(环境温度35°C)
90sccm
泵转速
标称转速
60000rpm
待机转速
33000~60000rpm可调
(缺省42000 rpm)
功率范围
50~200W可调
(缺省160W)
90%转速启动时间
180s?
模拟输出
泵转速、功耗、泵温度、控制温度
冷却方式#
空冷/水冷
空冷环境温度
5~35°C
最小水冷流速
(15°C的水)
15l/ h
水温范围
10~20°C
入口法兰最高温度
70°C
工作姿态
垂直、水平(±2°)
噪声(1m处)
<45dB(A)
最大耐受磁场
5mT
推荐控制器
TIC200涡轮仪表控制器
稳态功耗
20W
* 根据应用可使用较小的前级泵,如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar,如XDD1。
? 如大于该入口压力,转速会降至标称转速以下。
? 功率为160 W。
# 空冷和水冷却附件须单独订购。
订货信息
货号
描述
B83200300
nEXT240D涡轮分子泵:ISO160 入口法兰
B83200400
nEXT240D涡轮分子泵:CF160 入口法兰
B83200301
nEXT240D涡轮分子泵:ISO160 入口法兰,80W
B83200401
nEXT240D涡轮分子泵:CF160 入口法兰,80W
D39722000
TIC涡轮仪表控制器:200W、RS232
B58053175
nEXT径向风扇
B58053170
nEXT径向风扇,带泵驱动接头
B80000815
nEXT 水冷组件
B80000812
油滤筒工具组件
B80000805
轴承和油滤筒工具组件
B80000811
油滤筒
B80000810
轴承和油滤筒
Edwards nEXT400D涡轮分子泵, nEXT400D
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