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nEXT85 涡轮分子泵
概述
nEXT85型分子泵是成熟产品EXT75DX型分子泵的升级产品,技术性能进一步提升,外形进一步简洁美观。
涡轮重新整体设计,以达到优化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下,即能达到更高转速,又能实现更高压缩比。
nEXT85性分子泵的工作性能和服务扩大了nEXT分子泵的应用范围,实现了智能安装、现场服务,成为真正的领*产品。
性能特点
• 性能优越,技术领*
• 型号众多,易于用户选择
• 采用Edwards涡轮温度直接测量专利技术,极大提高工作安全性能
• 前级接口和级间接口可根据用户需求选择(NW40、ISO63、CF63、ISO100)或定制
• 用户可自行更换轴承和油盒
• CMSD技术使得震动水平更低
• 智能化,通过USB口和Edwards nST软件可实现对泵的监测、
技术指标
nEXT85 D
nEXT85 H
入口法兰
NW40
ISO63
CF63
ISO100
抽速
(l/s)
N2
47
84
86
He
61
78
80
H2
49
60
54
Ar
44
压
缩
比
>1011
8×106
2×107
2×105
5×105
极限真空(mbar)
ISO:<5×10-9,CF:<5×10-10
出口法兰
KF16
放气口/吹扫口
1/8英寸BSP母螺纹
质量(kg)
2.9
3.0
4.4
3.2
前级真空要求
(mbar)
19
21
30
22
*大连续入口流量(N2)
42sccm[水冷(水温15°C,环境温度40°C)],60sccm[空冷(环境温度20°C)]
推荐前级泵
nXDS15i
入口*高温度
120°C
工作姿态
垂直、水平(±2°)
工作转速
90000rpm
90%转速启动时间
80W:130s,120W:90 s
冷却方式
空冷/水冷
噪声(1m处)
<34dB(A)±2.5
*大耐受磁场
3.5mT
电源
24V~48V DC
模拟输出电压
0V~10V DC
工作温度范围
5°C ~40°C
工作湿度范围
10% ~90%RH
储存温度范围
-30°C ~70°C
工作*高海拔
2000m
订货信息
货号
描述
B8G210B01
nEXT85D ISO63 NW16 80W
B8G210C01
nEXT85D CF63 NW16 80W
B8G210101
nEXT85D ISO100 NW16 80W
B8G210A01
nEXT85D NW40 NW16 80W
B8G410B01
nEXT85H ISO63 NW16 80W
B8G410C01
nEXT85H CF63 NW16 80W
B8G410A01
nEXT85H NW40 NW16 80W
B8G410101
nEXT85H ISO100 NW16 80W
D39592000
TAG涡轮控制器
D39592800
TAG涡轮控制器电源
D39721000
TIC涡轮仪表控制器:200W、RS232
B8G200820
ACX85空气冷却器
B8G200834
TAV5放气阀(常开)
B8G200828
油盒组件
B8G200827
轴承组件
B8G200840
轴承更换工具组件
Edwards nEXT 85 涡轮分子泵, nEXT 85
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