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234/302 200mm焦距真空紫外光谱仪
主要特点:
>像差校正光学系统
>紫外光谱CCD或MCP阵列探测器
>超高真空支持
>紧凑、坚固、低重量、低价格
主要技术参数
波长范围
<30nm-550nm*
光学结构
Seya-Namioka
真空度支持
10-6Torr,或10-10Torr(UHV选项)
焦距长度
200mm
分辨率,半高宽
0.1nm*
色散
4nm每毫米
校准精度
0.1nm
重复性
0.05nm
步距
0.00005nm
焦平面尺寸
25mm
数值孔径
f/4.5
光栅尺寸
40*45mm凹面全息光栅
杂散光抑制比
10-5
充氮气
可选
可选探测器
CCD、MCP或单点探测器
狭缝
10um-3mm连续可调,高度2-20mm可调,手动或电动可选
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
不同光栅主要参数
光栅密度(g/mm)
2400
1200
600
300
分辨率**
0.05
0.1
0.2
0.4
色散(nm/mm)
2
4
8
16
30-225nm
30-550nm
30-1100nm
30nm-2.2um
**分辨率测试条件:10um狭缝@184.9nm
234/302 200mm焦距真空紫外光谱仪, 234/302 200mm
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