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氮分子激光器
PLASMA公司是世界上顶尖的气体激光器生产商,其产品主要特点是高质量、长寿命。
氮分子激光器的发射带在UV波段,主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器,由于其独特的性能(波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W),被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亚微米量级的元件。此外,还被用于多种感光材料的高效曝光光源。
型号
NPL-3
LGI-505
LGI-511
波长, μm
0.337
脉冲能量, μJ
30
120
240
平均功率, mW
风冷
水冷
3
40
模式
TEMoo
TEMmn
脉冲重复频率:
1-100
5-400
5-1000
1-1000
脉冲宽度, ns
5
6-8
光束直径, mm
2
发散角, mrad
-
7
12
制冷
平均寿命, h
5000
尺寸, mm
590×255×155
激光头:840×343×238
电源:484×510×212
1140×525×345
重量, kg
10
激光头:35
电源:35
105
plasma氮分子激光器, NPL-3 LGI-505 LGI-511
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