氦质谱检漏仪 MOCVD 设备检漏

上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪MOCVD 设备检漏
上海伯东客户厦门某大型 LED 生产企业，近日成功采购6台氦质谱检漏仪ASM 340 用于 MOCVD 设备检漏。
MOCVD 是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很强的物质，因此在设备出厂时必须要考虑密封性，否则一旦有毒物质泄漏，后果不堪设想！

上海伯东客户某大型 LED 生产企业 MOCVD 设备检漏实例：
MOCVD 需要检漏位置：所有怀疑有漏的地方都需要进行检漏，主要检漏源供给、输运和尾气处理系统（例如管路接头、管道、焊缝等位置）。
根据客户实际需要，MOCVD 检漏基本配置：氦质谱检漏仪 ASM 340+干式真空泵ACP 28 如下图所示：

MOCVD设备检漏方法：采用真空模式检漏
1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 ASM 340，确认连接完毕
2. 启动 ASM 340，进入待机界面；初次启动时间大约 3min，以后启动 < 1min
3. 按下开始键，先通过 bypass 阀门启动干式真空泵ACP 28抽真空，到达一定压力检漏仪 ASM 340开始工作，同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气；若有漏，检漏仪马上报警，显示该喷射点有漏。
4. 检测完毕，按下检漏仪待机键，放气、关闭电源，移除连接管路。
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