Name: Pfeiffer 普发氦质谱检漏仪 ASM 340 脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
Brand: 普发真空
SKU: ASM 340
Price: 100000.00 CNY
Availability: InStock

产品介绍

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
脉冲激光沉积系统 Pulsed laser deposition 是制备高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多层异质结构和超晶格结构的物理气相沉积设备, 通常需要保证本底真空度达到 10-8mbar, 同时高真空环境对系统配置的 RHEED 及温控系统等关键设备的寿命也至关重要.

脉冲激光沉积系统 PLD 需要检漏原因

PLD 系统需要高真空环境, 腔室是否有泄露, 是否有内部材料放气等因素对实现高真空及超高真空很关键. 因此需要对整个系统进行泄漏检测. 氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 因此广泛应用于 PLD 设备检漏.

脉冲激光沉积系统 PLD 检漏客户案例: 上海伯东某客户 PLD 设备用来制备各种材料, 为了保证产品质量, 采购氦质谱检漏仪 ASM 340 搭配使用.

生长多层膜（TiN/ALN）结构, 各层膜厚度可调	高通量制备具有不同材料成分的100种材料	PLD 制备的 Ag 的纳米多孔材料

脉冲激光沉积系统 PLD 检漏方法
采用真空模式检漏, 通过波纹管连接需要检漏的腔体, 设定好需要的漏率值
在怀疑有漏的地方喷氦气（一般需要检漏的部位是焊缝或连接处）,如果有漏,检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.

上海伯东推荐 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 三种类型可选

型号	ASM 340 WET	ASM 340 D	ASM 340 I
对氦气的最小检测漏率, 真空模式	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
检测模式	真空模式和吸枪模式	真空模式和吸枪模式	真空模式和吸枪模式
检测气体	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
对氦气的抽气速度 l/s	2.5	2.5	2.5
进气口最大压力 hPa	25	25	5
前级泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前级泵
重量 kg	56	45	32

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家氦质谱检漏仪的技术优势, 上海伯东普发 Pfeiffer 提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.

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Pfeiffer 普发氦质谱检漏仪 ASM 340 脉冲激光沉积系统 PLD 检漏信息由伯东企业（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于Pfeiffer 普发氦质谱检漏仪 ASM 340 脉冲激光沉积系统 PLD 检漏报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

上海伯东 Pfeiffer 普发售后维修服务

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伯东企业（上海）有限公司是德国普发真空 Pfeiffer Vacuum 代理商, 隶属于伯东株式会社, 外国法人独资, 集团年营业额超过 10 亿美金. 上海伯东自 1995年成立以来, 积累 20年普发维修经验, 是国内较早的授权销售和维修服务中心, 已累计为超过 100, 000+ 家企业提供 Pfeiffer 产品售后维修服务. 伯东 Pfeiffer 维修中心 100 ％使用原厂部件和原装进口检测设备, 严格执行 Pfeiffer 质量标准对维修产品做全方面的性能测试和快速维修服务, 并对维修后的产品提供质保. 上海伯东拥有完全的拆解, 维修能力, 提供快速, 高质量的维修保养服务.

上海伯东普发 Pfeiffer 售后维修服务包含
1. 在线服务:
提供各类真空产品的操作说明, 软件升级
提供电话或视频指导服务, 技术支持

2. 线下服务
产品和系统的检测, 调试, 校准, 维修,保养,清洁
用户培训和产品培训
提供检测服务报告和维修服务报