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氦镉激光器
PLASMA公司是世界上顶尖的气体激光器生产商,其产品主要特点是高质量、长寿命、中等价格。
1. 标准设计,HCL系列
波长442nm
型号
功率(mW)
横模
偏振
光斑尺寸(mm)
发散角 (mrad)
HCL-50V
60
TEMOO
100:1
1.6
0.9
HCL-60V(I)
80
HCL-70VМ(I)
100
多模
1:1
2.0
2.5
HCL-100V
2.1
HCL-100V(I)
150
波长325nm
HCL-30UM(I)P
30
HCL-10U
10
1.5
HCL-30UM(I)
35
HCL-100U(I)
1.7
波长442nm和325nm
HCL-40
5/35
多模/TEMOO
100:1/100:1
1.4/1.4
0.9/0.9
HCL-40M
10/40
1.5/1.5
2.5/0.9
HCL-40(I)
15/50
2.0/0.9
HCL-100(I)
20/100
2.0/2.0
注:带(I)的型号激光相干长度为30cm,不带(I)的型号相干长度为10cm
2. 紧凑型设计,HCCL系列
HCCL-10V
1.3
HCCL-20VМ
20
1.8
HCCL-25V
25
HCCL-4UM
6
HCCL-8UM(I)
12
HCCL-15UM
15
HCCL-30UM(I)
注:带(I)的型号激光相干长度30cm,不带(I)的型号相干长度10cm。
氮分子激光器
氮分子激光器的发射带在UV波段,主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。 PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器,由于其独特的性能(波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W),被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亚微米量级的元件。此外,还被用于多种感光材料的高效曝光光源。
参数
NPL-3
LGI-505
LGI-511
波长, μm
0.337
脉冲能量, μJ
120
240
平均功率, mW
3
光束直径, mm
2
5
脉冲重复频率:
1-100
5-1000
1 -1000
脉冲宽度, ns
5±1
8 ±2
尺寸, mm
350x325x150
484x510x215
1140x525x345
重量, kg
105
电压, V
220
功率消耗, w
50
1200
1500
制冷方式
风冷
水冷
工作温度, OC
0...+40
+10...+40
质保工作时间, h
500
1000
氦镉及氮分子激光器, HCL-100V
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