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产品描述
Nano View-2000是经济型机型,通过非接触式的方法对0.1nm-270nm的3维表面形貌进行高进度和高速测量。
利用物镜转台可方便的进行放大倍数的转换。使用拼接功能可分析宽广的表面。
产品规格
干涉物镜:5个物镜可选
扫描范围:0-180um(270um,5mm可选)
垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm
倾斜台:±6°
Z轴行程:100mm(手动)
工作台面:100X100mm(程控)
应用领域
Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。
NanoSystem 非接触式3D光学轮廓仪 Nano View2000, Nano View-2000
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