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等离子体发射测量
在紫外线…近红外线范围可同时观察到等离子发射
低压等离子沉积技术是一个客观的连续不断的过程,如PVD(物理气象沉积)是今天真正的问题之一。除了等离子体发射光的表观检查,有时也使用质谱技术。但是质谱技术既不方便操作,其结果也不容易理解。与此相比,使用OES(发射光谱)和光纤耦合TranSpec光谱仪的有点是显而易见的。
技术特征
在200…1000nm光谱范围内可同时测量
可检测非常底的发射信号
可连接到几乎每个真空室
无需维护
舒适和易于使用的PEM—ProVis专业版软件
德国应用光谱Plasma Emission Messurement System白光干涉膜厚仪, Plasma Emission Messurement System
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