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厚度47nm 标准样品,三次重复测量结果叠加 (无任何减噪修正,原始数据输出) 500um扫描, 2um探针
NanoMap-PS2是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪
AFM同款位移传感器,超高精度
压电陶瓷驱动扫描,绝对无内源振动
自集成主动反馈式防震系统
真正无需额外辅助防震系统,实现高重复性纳米测量
纳米量级科学研究的必备产品
NanoMap-PS2 台阶仪可以应用在半导体,光伏/太阳能,光电子,化合物半导体,OLED,生物医药,PCB封装等领域的薄膜厚度,台阶高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),划痕深度,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量方面。其高精度,高重复性,自动探索样品表面,自动测量深受广大客户欢迎。
测量表面可以覆盖多种材料表面:金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等,对于植物表面,生物材料,聚合物表面,光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高,稳定性好。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.1nm 。 可测表面,包括透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料,金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿等; AEP的技术日新月异。 欲了解最新的产品性能参数,请与我们联系。 主要参数 :
垂直分辨率 0.1nm
垂直最大量程 1000um探针接触力 0.03mg-100mg
平台范围 直径150毫米(可选200毫米或更大)高清图像 4级放大,彩色CCD成像光源 双长寿命强光LED
金刚石探针 0.5um 到 25um 可选
台阶仪,NanoMap-PS2
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