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本系统应用于光学元件表面散射率的测量,主要针对大尺寸光学元件。
指数指标
散射率检测精度 0.1%
升降机构重复定位精度:0.02mm
旋转机构重复定位精度:<0.05°
倾斜机构调整角度:±7.5 °
平移机构:分辨率1um
工作频率(电子学系统参数):1000Hz
动态范围(电子学系统参数):80dB
品质因数(电子学系统参数):Q>50
A/D(电子学系统参数):16bit
7-OSSR 光学表面散射系数测量系统, 7-OSSR
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